微型笔直写技术制备厚膜温度传感器阵列研究
作者：蔡志祥 李祥友 胡乾午 曾晓雁
摘要：利用微型笔直写技术，在Al2O3陶瓷基板上制备了4×4厚膜PTC热敏电阻温度传感器阵列。研究了驱动气压、笔嘴直径以及直写速度等对厚膜PTC热敏电阻线宽的影响，分析了微型笔直写PTC热敏电阻温度传感器的形成机理。目前微型笔在Al2O3陶瓷基板上直写的厚膜PTC热敏电阻线宽为130-400μm。高温烧结后其电阻温度系数啄为1620×10^-6／℃，在25～95℃之间电阻阻值随温度的变化具有良好的线性。
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关键词：
- 电子技术
- 微型笔
- 温度传感器阵列
- 直写技术
- 热敏电阻
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