摘要：采用离子交换法对显示器件用超薄钠钙玻璃、铝硅玻璃、硼硅玻璃基板作了化学钢化增强处理，用原子力显微镜分析了玻璃化学钢化前后的表面粗糙度变化，研究了玻璃经化学钢化处理后的翘曲度变化，用钢化玻璃全自动表面应力仪分析了3种不同类型的玻璃基板经化学钢化不同时间后的表面应力和应力深度的变化，并对3种不同玻璃化学钢化性能差异的原因进行了探讨。结果表明，3种化学钢化玻璃的表面粗糙度均提高，钠钙玻璃经化学钢化处理后翘曲度会提高，而铝硅玻璃和硼硅玻璃经化学钢化处理后翘曲度不变，铝硅玻璃最容易化学钢化。