一种差动电容式加速度传感器设计的理论研究
作者：李恒灿 纪占玲
摘要：设计了一种差动式测振传感器,建立了差动电容式加速度传感器的数学模型,并通过电容的推导计算对其进行了特性分析。对检测电路的结构进行了分析,给出了典型电路结构,推到了电路参数及性能;本设计具有电路结构简单,频率范围宽约0～500Hz,线性度小于1%,灵敏度高,输出稳定,测量误差小等优点;通过实验,各项性能指标满足设计要求。
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关键词：
- 电容式加速度传感器
- 差动电容
- 电路设计
- 非线性误差
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