声表面波气体传感器的研究进展
作者:杨楷 李志刚 景玉鹏 陈大鹏
摘要:介绍了声表面波气体传感器的基本结构和研究进展,指出了其存在的主要问题及解决方法:如温度控制电路可解决温度的影响;仿钻结晶碳覆盖层可解决湿度影响;人工神经网络技术可解决响应时间;监视声表面波的频率和振幅在高次谐波下的变化,可解决在低浓度工作时的灵敏度等问题。展望了声表面波气体传感器的发展趋势,认为该传感器的研究价值很高,市场前景广阔。
分类:
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关键词:
- 电子技术
- 声表面波气体传感器
- 综述
- 响应时间
- 灵敏度
- 无源无线传感技术
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