摘要:对铝基板在草酸体系下阳极氧化成膜温度进行了研究,发现膜的起始破坏温度为32.5℃,而与草酸电解液的浓度关系不大.通过XRD、SEM对膜层进行了分析,并测试了膜层的绝缘性能.结果表明:氧化膜层是以非晶态形式存在的,膜表面存在直径80 nm左右的针状物,形成Al(OH)3水合物.较高溶液温度下,草酸的溶解作用加剧了膜层断面开裂、膜质疏松等缺陷,严重影响着膜层的绝缘性能,温度不超过32.5℃,能得到均匀、致密的膜层.
注:因版权方要求,不能公开全文,如需全文,请咨询杂志社
相关期刊
期刊名称:电子元件与材料
期刊级别:北大期刊
期刊人气:8225