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微细加工技术杂志发文分析
微细加工技术主要机构发文分析
| 机构名称 | 发文量 | 主要研究主题 |
| 中国科学院 | 192 | 光刻；电子束曝光；曝光机；电子束曝光机；掩模 |
| 上海交通大学 | 129 | 微机电系统；电系统；机电系统；MEMS；刻蚀 |
| 清华大学 | 60 | 微细；光刻；微细加工；离子束；聚焦离子束 |
| 中国科学技术大学 | 47 | 刻蚀；离子束；离子束刻蚀；光刻；衍射 |
| 电子工业部 | 46 | 离子注入；注入机；离子注入机；半导体；电路 |
| 中国科学院微电子研究所 | 38 | 光刻；掩模；X射线光刻；电子束曝光；分辨率 |
| 中国科学院长春光学精密机械与... | 34 | 光栅；MEMS；刻蚀；光刻；传感 |
| 山东大学 | 29 | 电子束；电子束曝光；曝光机；电子束光刻；电子束曝光机 |
| 山东工业大学 | 28 | 电子束曝光；曝光机；电子束曝光机；电子束；电路 |
| 华中理工大学 | 26 | 刻蚀；溅射；半导体；等离子体；离子束 |
《微细加工技术》杂志是由中国电子科技集团公司第48研究所主办的双月刊，审稿周期预计为3-6个月。该杂志的栏目设置丰富多样，涵盖综述、电子束技术、离子束技术、光子束技术、薄膜技术、微机械加工技术、纳米技术等。
该杂志为学者们提供了一个交流学术成果和经验的平台，发表的文章具有较高的学术水平和实践价值，为读者提供更多的实践案例和行业信息，得到了广大读者的广泛关注和引用。
