《微细加工技术》杂志的收稿方向主要包括：综述、电子束技术、离子束技术、光子束技术、薄膜技术、微机械加工技术、纳米技术等。
该杂志收稿方向广泛，涵盖了电子的多个重要领域和前沿话题，为电子工作者和研究者提供了一个交流和分享学术成果的重要平台。
《微细加工技术》杂志投稿要求
（1）题目：应反映文章主要内容，一般不用副标题，不超过20个汉字，避免使用非公知的外文缩写。
（2）本刊将对一稿两投者表示公开谴责，通知作者单位，并2年内拒绝该文第一作者的任何来稿。
（3）来稿一经采用，因人力所限一般不退稿，请作者自留底稿，文稿署名自便，但来稿请注明作者真实姓名、单位、职称、通讯地址、邮政编码及电话，以便联系。
（4）注释时，必须将其作者姓名、文献名、出版社、出版时间、所属页码一并注出。
（5）参考文献：作者年份制，正文中以（作者，年份）形式置于对应处；详细内容采用文后注形式，中文在前、英文在后，以音序排序，具体著录格式见附件。
《微细加工技术》杂志是由信息产业部主管和中国电子科技集团公司第48研究所主办的学术理论期刊，创刊于1983年，国内外公开发行，国际刊号ISSN为1003-8213，国内刊号CN为43-1140/TN，该杂志级别为部级期刊，预计审稿周期为3-6个月。
微细加工技术杂志数据统计
微细加工技术主要引证文献期刊分析
该杂志在学术界具有较高的影响力，多次获得国内外权威奖项，如Caj-cd规范获奖期刊、北大图书馆收录期刊等。
在收录方面，《微细加工技术》杂志被多个知名数据库收录，包括：知网收录(中)、维普收录(中)、万方收录(中)、EI 工程索引(美)、国家图书馆馆藏、上海图书馆馆藏等，在电子领域具有较高的学术价值和影响力，是电子研究者和实践者的重要参考刊物。
微细加工技术杂志发文分析
微细加工技术主要机构发文分析
| 机构名称 | 发文量 | 主要研究主题 |
| 中国科学院 | 192 | 光刻；电子束曝光；曝光机；电子束曝光机；掩模 |
| 上海交通大学 | 129 | 微机电系统；电系统；机电系统；MEMS；刻蚀 |
| 清华大学 | 60 | 微细；光刻；微细加工；离子束；聚焦离子束 |
| 中国科学技术大学 | 47 | 刻蚀；离子束；离子束刻蚀；光刻；衍射 |
| 电子工业部 | 46 | 离子注入；注入机；离子注入机；半导体；电路 |
| 中国科学院微电子研究所 | 38 | 光刻；掩模；X射线光刻；电子束曝光；分辨率 |
| 中国科学院长春光学精密机械与... | 34 | 光栅；MEMS；刻蚀；光刻；传感 |
| 山东大学 | 29 | 电子束；电子束曝光；曝光机；电子束光刻；电子束曝光机 |
| 山东工业大学 | 28 | 电子束曝光；曝光机；电子束曝光机；电子束；电路 |
| 华中理工大学 | 26 | 刻蚀；溅射；半导体；等离子体；离子束 |
