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微纳电子技术杂志发文分析
微纳电子技术主要机构发文分析
| 机构名称 | 发文量 | 主要研究主题 |
| 中国科学院 | 309 | 纳米；光刻；晶体管；MEMS；传感 |
| 中北大学 | 239 | MEMS；微电子；微电子机械；微电子机械系统；传感 |
| 中国电子科技集团第十三研究所 | 225 | 微电子；微电子机械；微电子机械系统；MEMS；激光 |
| 河北工业大学 | 183 | CMP；化学机械抛光；机械抛光；抛光液；去除速率 |
| 上海交通大学 | 147 | 纳米；微电子；微电子机械；微电子机械系统；MEMS |
| 太原理工大学 | 113 | 纳米；传感；感器；传感器；气敏 |
| 中国科学院微电子研究所 | 111 | 光刻；纳米；电子束光刻；金属；感器 |
| 清华大学 | 74 | 感器；传感；传感器；自旋；纳米 |
| 专用集成电路与系统国家重点实... | 60 | 隧穿；迁移率；共振隧穿；RTD；MEMS |
| 中国科学院大学 | 60 | 微电子；MEMS；微电子机械；微电子机械系统；纳米 |
《微纳电子技术》杂志是由中国电子科技集团公司第十三研究所主办的月刊，审稿周期预计为1-3个月。该杂志的栏目设置丰富多样，涵盖技术论坛、材料与结构、MEMS与传感器、加工、测量与设备等。
该杂志为学者们提供了一个交流学术成果和经验的平台，发表的文章具有较高的学术水平和实践价值，为读者提供更多的实践案例和行业信息，得到了广大读者的广泛关注和引用。
