《微纳电子技术》杂志的收稿方向主要包括：技术论坛、材料与结构、MEMS与传感器、加工、测量与设备等。
该杂志收稿方向广泛，涵盖了科技的多个重要领域和前沿话题，为科技工作者和研究者提供了一个交流和分享学术成果的重要平台。
《微纳电子技术》杂志投稿要求
（1）注释格式与顺序为著者(含整理者、点校者)、书名(章节数)、卷数(章节名)、版本(出版社与出版年月)及页码等。
（2）稿件作者的署名之下标注每个作者的工作单位全称及所在地的省或直辖市或自治区的地名、邮政编码，同时附英文翻译。
（3）论文如系资助项目，在文末说明。多个资助来源的，只选一项。
（4）获得国家基金资助和省部级科研项目的文章请注明基金项目名称及编号，按项目证明文字材料标示清楚。
（5）稿件必须严格遵守相关学术规范性和严谨性，遵循学术道德要求，如有著作权纠纷和学术观点纠纷，作者文责自负。
《微纳电子技术》杂志是由中国电子科技集团公司主管和中国电子科技集团公司第十三研究所主办的学术理论期刊，创刊于1964年，国内外公开发行，国际刊号ISSN为1671-4776，国内刊号CN为13-1314/TN，该杂志级别为统计源期刊，预计审稿周期为1-3个月。
微纳电子技术杂志数据统计
微纳电子技术主要引证文献期刊分析
该杂志在学术界具有较高的影响力，多次获得国内外权威奖项，如Caj-cd规范获奖期刊、中国优秀期刊遴选数据库、中国期刊全文数据库（CJFD）、中国学术期刊（光盘版）全文收录期刊、中国科技期刊优秀期刊等。
在收录方面，《微纳电子技术》杂志被多个知名数据库收录，包括：统计源期刊(中国科技论文优秀期刊)、知网收录(中)、维普收录(中)、万方收录(中)、CA 化学文摘(美)、SA 科学文摘(英)、Pж(AJ) 文摘杂志(俄)、国家图书馆馆藏、上海图书馆馆藏、文摘杂志等，在科技领域具有较高的学术价值和影响力，是科技研究者和实践者的重要参考刊物。
微纳电子技术杂志发文分析
微纳电子技术主要机构发文分析
| 机构名称 | 发文量 | 主要研究主题 |
| 中国科学院 | 309 | 纳米；光刻；晶体管；MEMS；传感 |
| 中北大学 | 239 | MEMS；微电子；微电子机械；微电子机械系统；传感 |
| 中国电子科技集团第十三研究所 | 225 | 微电子；微电子机械；微电子机械系统；MEMS；激光 |
| 河北工业大学 | 183 | CMP；化学机械抛光；机械抛光；抛光液；去除速率 |
| 上海交通大学 | 147 | 纳米；微电子；微电子机械；微电子机械系统；MEMS |
| 太原理工大学 | 113 | 纳米；传感；感器；传感器；气敏 |
| 中国科学院微电子研究所 | 111 | 光刻；纳米；电子束光刻；金属；感器 |
| 清华大学 | 74 | 感器；传感；传感器；自旋；纳米 |
| 专用集成电路与系统国家重点实... | 60 | 隧穿；迁移率；共振隧穿；RTD；MEMS |
| 中国科学院大学 | 60 | 微电子；MEMS；微电子机械；微电子机械系统；纳米 |
