摘要:通过对工艺条件的研究,解决了钒有机溶胶与基片的亲水性问题,提出了成膜牢固的亲水处理方法,制备出了无裂纹、致密性好的VOx薄膜.测量结果表明,520 ℃热处理条件下的VOx薄膜样品的平均电阻温度系数达到了3.95 % K-1.而470 ℃热处理下的VOx薄膜样品,其升降温阻温特性一致性很好,可用作高灵敏度红外探测器敏感元材料.
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期刊名称:电子元件与材料
期刊级别:北大期刊
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