低压等离子体直管的制备及电子密度分布测量
作者：李炳辰; 李道儒; 张亚非
摘要：本文利用自主设计并搭建的低气压等离子体直管的加工平台,在高真空环境下充入工作气体,制备出可以激发等离子体的直管.利用双探针诊断法,实验测出当充入0.5Torr氩气时,管内径向等离子体电子密度的分布呈抛物线型.
分类：
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关键词：
- 低压等离子体
- 电子密度
- 分布测量
- 直管
- 制备
- 加工平台
- 自主设计
- 工作气体
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