上海硅酸盐所成功研制出大尺寸和复杂形状透明陶瓷
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摘要：钇铝石榴石（YAG）、氧化钇（Y202）等透明陶瓷是重要的激光基质材料，同时，它在可见一中红外波段透过率高，是高温窗口或中红外光学窗口、半球形整流罩的重要候选材料。此外，它们还具有极佳的抗等离子体侵蚀性能，在半导体刻蚀装备中具有重要的应用价值。
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关键词：
- 透明陶瓷
- 上海硅酸盐所
- 复杂形状
- 大尺寸
- 激光基质材料
- 中红外波段
- 光学窗口
- 钇铝石榴石
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