HL-2A装置直流辉光自动调节控制系统

作者:高霄雁; 崔成和; 胡毅

摘要:直流辉光放电清洗的主要作用是去除HL-2A装置内的低Z杂质C、O,以及放电期间所产生的残余气体和杂质。介绍了直流辉光放电自动调节控制系统。在辉光放电过程中,实现了真空室工作气体气压和放电电压的自动调节和信号采集。本文描述了系统的设计原理,控制方案和系统实现后的具体应用效果。直流辉光放电系统的性能得到了提高,放电电流稳定性得到了显著提高,放电电压的控制精度改善为1%FS,系统从启动到稳定运行状态的时间小于40 s,HL-2A装置的清洗效率也明显获得改善。

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关键词:
  • 器壁条件
  • 直流辉光
  • 自动控制

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期刊名称:真空科学与技术学报

期刊级别:北大期刊

期刊人气:5047

杂志介绍:
主管单位:中国科学技术协会
主办单位:中国真空学会
出版地方:北京
快捷分类:工业
国际刊号:1672-7126
国内刊号:11-5177/TB
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创刊时间:1981
发行周期:月刊
期刊开本:A4
下单时间:1-3个月
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