大学学报
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摘要：计量光栅盘真空镀铬机理与工艺研究 摘要 在计量光栅盘的制作过程中．真空镀铬是影响计量光栅盘精度和成品率的主要工序之一为了提高计量光栅盘的精度及成品率，对计量光栅盘真空镀铬原理及膜层形成机理进行了分析，给出了影响铬层致密性及牢固度的主要因素与铬层均匀性和蒸发距离之间的关系式，并针对其原因对相关工艺进行了改进．
分类：
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- 自然科学与工程技术
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- 基础科学
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- 基础科学综合
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关键词：
- 大学学报
- 真空镀铬
- 光栅盘
- 制作过程
- 成品率
- 计量
- 均匀性
- 牢固度
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