氧气浓度对ZnO薄膜光电性能的影响
作者：肖慧 徐哈宁 朱昌 吴初国
摘要：采用磁控溅射法镀制ZnO薄膜，通过椭偏仪和四探钎测试仪分析了氧气浓度对薄膜光电性能的影响。结果表明：随着氧分压的增加，薄膜折射率呈变大的趋势，电阻率升高，导电性能降低。
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关键词：
- zno薄膜
- 磁控溅射
- 折射率
- 电阻率
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