纳秒脉冲激光辐照非晶硅薄膜的研究
作者：袁珂 郝会颖 郑志远 黄强 张鸿儒
摘要：采用Nd：YAG纳秒脉冲激光，在不同能量下对沉积在石英衬底上的非晶硅薄膜进行辐照。光学显微镜、透射电镜、微区喇曼光谱分析表明，在能量50-60mJ／cm^2辐照下，可制备出具有周期性排列的条纹结构，能量过大会使薄膜受损，激光辐照后薄膜组织的有序度提高。
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关键词：
- 纳秒激光
- 硅薄膜
- 喇曼光谱
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