摘要:采用Nd:YAG纳秒脉冲激光,在不同能量下对沉积在石英衬底上的非晶硅薄膜进行辐照。光学显微镜、透射电镜、微区喇曼光谱分析表明,在能量50-60mJ/cm^2辐照下,可制备出具有周期性排列的条纹结构,能量过大会使薄膜受损,激光辐照后薄膜组织的有序度提高。
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期刊名称:中国科技信息
期刊级别:部级期刊
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