二氧化钛薄膜材料制备工艺研究进展
作者：黄舒
摘要：TiO2薄膜材料由于其具有颜料特性及高的催化活性和光稳定性而应用广泛。本文通过查阅大量文献资料，主要对制备TiO2薄膜的常用方法，如溶胶-凝胶法，溅射法，化学气相沉积法进行了综述，以及对TiO2薄膜的制备工艺的发展趋势进行了简述。
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关键词：
- tio2薄膜
- 溅射法
- 化学气相沉积
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