蓝宝石晶片中微/纳米缺陷散射特性的仿真
作者：程洁; 王湘宁; 肖永亮; 喻更生
摘要：基于广义Lorenz-Mie理论,对蓝宝石晶片中微体缺陷的散射特性进行了仿真,分析了散射光接收位置、缺陷大小、入射光波长对散射光强的影响。结果表明:前向散射方向上的空间散射光强信息量最大,检测结果最准确;缺陷大小对散射光强分布具有显著影响,可以将散射光强分布曲线的特征作为判断缺陷大小的依据;入射光波长越小,测量越准确。
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关键词：
- 散射
- mie理论
- 蓝宝石晶片
- 微体缺陷
- 无损检测
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