单晶金刚石飞秒激光加工的烧蚀阈值实验

作者:陈根余; 朱智超; 殷赳; 熊彪; 金梦奇

摘要:采用不同功率的飞秒激光对单晶金刚石分别进行了单脉冲分离烧蚀实验和多脉冲累积烧蚀实验,计算得到了单晶金刚石材料的单脉冲烧蚀阈值和多脉冲累积烧蚀阈值,并研究了多脉冲作用下单晶金刚石烧蚀阈值的变化。结果表明:单晶金刚石的飞秒激光单脉冲烧蚀阈值为8.80 J/cm^2;随着有效脉冲数增加,烧蚀阈值逐渐减小;当有效脉冲数小于124时,烧蚀阈值随有效脉冲数的增加而急剧减小;当有效脉冲数增加到486后,烧蚀阈值减小的趋势趋于平缓。有效脉冲数486、激光平均功率10.7 W是最优的激光加工工艺参数。

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关键词:
  • 激光技术
  • 激光器与激光光学
  • 激光烧蚀
  • 飞秒激光
  • 单晶金刚石
  • 烧蚀阈值

注:因版权方要求,不能公开全文,如需全文,请咨询杂志社

期刊名称:中国激光

期刊级别:北大期刊

期刊人气:3600

杂志介绍:
主管单位:中国科学院
主办单位:中国光学学会;中国科学院上海光学精密机械研究所
出版地方:上海
快捷分类:科技
国际刊号:0258-7025
国内刊号:31-1339/TN
邮发代号:4-201
创刊时间:1974
发行周期:半月刊
期刊开本:A4
下单时间:1-3个月
复合影响因子:1.54
综合影响因子:2.57