退火温度对铝掺杂氧化锌薄膜晶体质量及光电性能的影响
作者：郭德双; 陈子男; 王登魁; 唐吉龙; 方铉; 房丹; 林逢源; 王新伟; 魏志鹏
摘要：研究了退火温度对原子层沉积(ALD)生长的铝掺杂氧化锌(AZO)薄膜光电性能的影响,结果发现:AZO薄膜在600℃退火后,X射线衍射峰的半峰全宽从未退火时的0.609°减小到0.454°,晶体质量得到提升;600℃退火后,薄膜的表面粗糙度从未退火时的0.841 nm降低至0.738 nm;400℃退火后,薄膜的载流子浓度和迁移率均达到最大值,分别为1.9×10^19 cm^-3和4.2 cm2·V^-1·s^-1,之后随着退火温度进一步升高,载流子浓度和迁移率降低;退火温度由300℃升高到600℃过程中薄膜的吸收边先蓝移后红移。
分类：
- 期刊
- >
- 自然科学与工程技术
- >
- 基础科学
- >
- 物理学
收录：
- 北大期刊(中国人文社会科学期刊)
- CSCD 中国科学引文数据库来源期刊(含扩展版)
- 统计源期刊(中国科技论文优秀期刊)
- 知网收录(中)
- 维普收录(中)
- 万方收录(中)
- EI 工程索引(美)
- CA 化学文摘(美)
- JST 日本科学技术振兴机构数据库(日)
- 哥白尼索引(波兰)
- 国家图书馆馆藏
- 上海图书馆馆藏
关键词：
- 材料
- 光学性能
- 电学性能
- 铝掺杂氧化锌薄膜
- 退火
- 原子层沉积技术
注：因版权方要求，不能公开全文，如需全文，请咨询杂志社
相关期刊
火箭推进