基于稀疏矩阵的光学元件表面疵病检测

作者:陈晨; 王红军; 王大森; 田爱玲; 刘丙才; 朱学亮; 刘卫国

摘要:提出了一种基于稀疏矩阵的表面疵病快速拼接方法。该方法采用环形白光光源均匀地照射到被测元件表面,光经显微散射暗场成像系统后形成暗背景下的亮疵病图像。通过对光学元件的x,y方向进行扫描,得到子孔径拼接图像。基于稀疏矩阵和图像拼接,对子孔径图像进行快速拼接,得到全孔径疵病图像。基于最小外接矩形原理,对图像疵病进行识别和分类,最终得到7个光学元件表面疵病划痕,其最大长、宽分别为15.2110 mm和0.0297 mm;麻点有5个,其最大长、宽分别为0.1089 mm和0.0967 mm。将测量得到的划痕宽度与标准划痕宽度进行对比,得到划痕宽度的相对误差范围为-5.00%~5.50%。在此基础上,对实际的光学表面进行检测,得到光学元件表面疵病信息。

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关键词:
  • 测量
  • 疵病检测
  • 显微散射暗场成像
  • 图像拼接
  • 稀疏矩阵
  • 疵病识别

注:因版权方要求,不能公开全文,如需全文,请咨询杂志社

期刊名称:中国激光

期刊级别:北大期刊

期刊人气:3600

杂志介绍:
主管单位:中国科学院
主办单位:中国光学学会;中国科学院上海光学精密机械研究所
出版地方:上海
快捷分类:科技
国际刊号:0258-7025
国内刊号:31-1339/TN
邮发代号:4-201
创刊时间:1974
发行周期:半月刊
期刊开本:A4
下单时间:1-3个月
复合影响因子:1.54
综合影响因子:2.57