炭/炭复合材料埚帮使用寿命的影响研究

作者:张灵玉; 闵明; 张旭辉; 赵上元; 邢如鹏; 侯卫权

摘要:针对单晶硅拉晶过程不断受硅化侵蚀造成炭/炭埚帮使用寿命短的问题,从炭/炭埚帮的破坏模式出发,分析了埚帮在单晶硅炉热场中受侵蚀破坏的机理。采用准三维针刺法制备预制体,经化学气相沉积、树脂浸渍炭化、高温处理及热解碳涂层处理后制成炭/炭复合材料埚帮。研究了不同密度、炭纤维含量以及涂层对炭/炭埚帮使用寿命的影响。结果表明随着密度、环向炭纤维含量的提升,炭/炭埚帮的使用寿命明显提升,而炭/炭埚帮表面热解碳涂层能在一定程度上提升其使用寿命,但提升效果有限。

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关键词:
  • 使用寿命
  • 侵蚀

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期刊名称:炭素

期刊级别:省级期刊

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杂志介绍:
主管单位:黑龙江省机械工业联合会
主办单位:哈尔滨电炭研究所
出版地方:黑龙江
快捷分类:化工
国际刊号:1001-8948
国内刊号:23-1172/TQ
邮发代号:14-65
创刊时间:1973
发行周期:季刊
期刊开本:A4
下单时间:1个月内
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综合影响因子:0.39