适用于SiC化学气相沉积工艺的真空机组研究
作者：周岳兵; 胡祥龙; 胡高健; 李益民
摘要：通过实验对不同真空泵应用于SiC化学气相沉积工艺的失效时间进行对比，并从结构上对不同真空泵失效的原理进行分析，确定了适用于SIC化学气相沉积工艺的真空泵组。
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关键词：
- sic
- 化学气相沉积
- 真空泵
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