薄膜材料屈服强度的有限元分析
作者：李芳 王经伟 秦国鹏
摘要：研究了模拟圆柱压头纳米压痕法计算出圆柱压头压痕下典型的应力分布以及载荷-压深曲线，通过对载荷-压深曲线的研究，确定了圆柱压头压痕法薄膜屈服强度的方法，从而为圆柱接头的应用提供理论基础。
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关键词：
- 圆柱压头
- 纳米压痕
- 有限元
- 屈服强度
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