摘要：开发一款炫晶板平面度高精度测量系统,其可以利用较少的硬件设备,更少的人力资源完成平面度测量工作,解决目前人工平面度检测耗时长、精度低的问题。通过实验平台的大量重复性实验及本系统与三坐标测量仪的对比实验,证明了该系统稳定可靠、操作灵活、精度高,完全满足课题提出的要求。