逆导IGCT补偿型PNP隔离技术研究
作者：陈芳林; 吴煜东; 张明; 唐龙谷; 陈勇民; 高建宁
摘要：逆导IGCT器件的关键技术在于实现GCT与FRD间的隔离。对比现有隔离技术,提出了一种补偿型横向PNP结隔离方法;经Silvaco仿真分析后,在4英寸与6英寸GCT芯片上开展了工艺和测试验证,结果表明该方法能有效提升隔离电压,并降低了隔离区的设计与工艺难度。
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关键词：
- igct
- gct
- 逆导
- frd
- 隔离
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