基于数字锁相放大器的原点检测技术

作者:周时禹 赖磊捷 谷国迎 朱利民

摘要:针对微纳加中原点检测精度低的问题,提出了一种基于数字锁相放大器的新型原点检测技术。通过微力传感器检测基底与模板之间的接触力,并添加了激振器模块和数字锁相放大模块。激振器模块使用参考正弦信号驱动基底按一定频率振动,同时将测得的微弱接触力信号经过数字锁相放大模块与参考信号进行相关计算,提取接触力振幅以实现接触检测。实验结果表明,该方法消除了温漂等外部干扰对接触检测带来的影响,能够达到纳米级的零位检测精度。

分类:
  • 期刊
  • >
  • 自然科学与工程技术
  • >
  • 信息科技
  • >
  • 电子信息科学综合
收录:
  • 知网收录(中)
  • 国家图书馆馆藏
  • 维普收录(中)
  • 万方收录(中)
  • 上海图书馆馆藏
关键词:
  • 数字锁相放大器
  • 微纳加工
  • 原点检测

注:因版权方要求,不能公开全文,如需全文,请咨询杂志社

期刊名称:机电一体化

期刊级别:省级期刊

期刊人气:16584

杂志介绍:
主管单位:上海市图书馆;上海科技情报研究所
主办单位:上海科学技术文献出版社
出版地方:上海
快捷分类:电力
国际刊号:1007-080X
国内刊号:31-1714/TM
邮发代号:4-565
创刊时间:1995
发行周期:双月刊
期刊开本:A4
下单时间:1-3个月
复合影响因子:0.41
综合影响因子:0.32