摘要：利用二氯二氢硅与四氯化硅反歧化反应生成三氯氢硅的原理,提出一种用于回收处理二氯二氢硅的反应精馏流程,其特征是将四氯化硅含量较高的塔釜液通过外部循环返回到含有催化剂的反应段参与反应.在建立反歧化反应精馏流程及相关工业试验装置的基础上,利用Aspen Plus软件进行模拟.理论模型采用平衡级模型,其中反应模型考虑了主反应的动力学影响和副反应的化学平衡限制.模拟结果和工业试验数据吻合良好,该流程能将二氯二氢硅转化为高价值的三氯氢硅,二氯二氢硅转化率高达98.6％,三氯氢硅纯度可达91.6％.在此基础上,优化反应精馏操作参数,考察了进料位置、持液量、回流量和进料摩尔比对产品纯度的影响,确定了各变量的最佳值,并对反歧化工艺进行了经济评价.