摘要：UV氧化单元是生产超纯水过程中的一个重要组成部分。然而，常规UV氧化能耗大，寻求高效节能的UV氧化方式已成为当今超纯净水净化研究热点之一。文中采用溶胶凝胶法，以钛酸四丁酯为钛前驱体，乙醇为溶剂，成功制备了TiO2薄膜。TiO2薄膜在加温条件下氨化制得了含氮TiO2。实验通过光催化降解超纯净水中乙二醇、异丙醇及尿素，考查了合成催化剂的性能。实验表明：在相同紫外光源条件下，掺氮TiO2的催化效果明显优于TiO2的催化效果。将掺氮TiO2与254nm UV灯结合使用能达到与仅使用185nm UV灯的同样的氧化效果，将此技术应用于超纯净水处理将会大大降低清洁水净化能量消耗及生产成本。