四氯化硅利用:氯氢化技术最理想

作者:陈维平 姚又省

摘要:近两年,采用改良西门子法技术建造大型多晶硅装置受到了国内投资者的热捧,但随着产生的多晶硅副产物——四氯化硅的处置却成为多晶硅产业发展一道难以迈过的“槛”,让多晶硅行业戴上了高污染的“帽子”。为此,国内外都在努力探索有效利用四氯化硅的理想途径。其中,氯氢化技术作为一条实现多晶硅产业密闭循环的有效途径,开始得到越来越多业内人士的认可。

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关键词:
  • 四氯化硅
  • 氢化技术
  • 理想
  • 产业发展
  • 多晶硅
  • 有效利用
  • 密闭循环
  • 国内外

注:因版权方要求,不能公开全文,如需全文,请咨询杂志社

期刊名称:化学工程

期刊级别:北大期刊

期刊人气:6071

杂志介绍:
主管单位:国华陆工程科技有限责任公司
主办单位:中国华陆工程科技有限责任公司
出版地方:陕西
快捷分类:工业
国际刊号:1005-9954
国内刊号:61-1136/TQ
邮发代号:52-52
创刊时间:1972
发行周期:月刊
期刊开本:A4
下单时间:1-3个月
复合影响因子:0.44
综合影响因子:0.48