化学气相沉积制备Co-Re合金涂层的热力学分析
作者：敬瑀; 龚伟; 王恩泽
摘要：Co-Re合金涂层是一极具潜力的抗高温烧蚀材料。利用HSC Chemistry 6.0软件对化学气相沉积Co-Re合金涂层进行模拟计算。分析结果表明,选择H2-Re2(CO)10和H2-Co(acac)2为反应体系,在0~1 000℃的温度范围内ΔG均小于零;反应产物Re和Co含量随沉积温度的升高而增加,但沉积过程中会有C单质产生;制备Co-Re合金涂层的最佳反应温度区间为400~600℃。
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关键词：
- 化学气相沉积
- 热力学
- 模拟计算
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