摘要：研究了在不同保温时间下MnO2对金刚石单晶的表面刻蚀,通过扫描电子显微镜和拉曼光谱对刻蚀后金刚石单晶不同晶面的表面形貌和刻蚀机理的进行了表征与分析,并对腐蚀过程中金刚石表现出来的各向异性进行了探讨。结果表明:当金刚石和MnO2质量比为1:5时,金刚石单晶的刻蚀程度随着保温时间的延长而增大;在相同保温时间下,{111}晶面比{100}晶面刻蚀严重;金刚石表面腐蚀后的形貌与对应晶面的碳原子排列有关,{100}面倾向于形成四边形的刻蚀坑,而{111}面则会形成轮廓为三角形的腐蚀坑,且金刚石单颗粒的抗压强度随刻蚀时间的延长而下降;刻蚀机理为MnO2与金刚石表面C原子发生反应,导致金刚石表面发生刻蚀。