基于ZnO的微气体传感器的设计与优化
作者：官修龙; 刘丽; 刘震; 何越; 王连元
摘要：设计了一种新型ZnO微气体传感器的结构，利用有限元分析软件ANSYS对该传感器的结构进行了分析，并对传感器的基底三层材料的厚度、加热电极的宽度和间距以及测量电极的宽度参数进行了优化，结果得出：当传感器基底中前SiO2层、中间Si层、后SiO2层的厚度分别为10，140和150μm，加热电极和测量电极宽度均为30μm，加热电极的间距为100μm，此时传感器的ZnO材料工作区域可获得最佳的温度分布和磁场分布，有利于传感器整体性能的提高。
分类：
- 期刊
- >
- 自然科学与工程技术
- >
- 信息科技
- >
- 无线电电子学
收录：
- 上海图书馆馆藏
- 维普收录(中)
- 万方收录(中)
- SA 科学文摘(英)
- 国家图书馆馆藏
- CA 化学文摘(美)
- JST 日本科学技术振兴机构数据库(日)
- 北大期刊(中国人文社会科学期刊)
- 知网收录(中)
- 统计源期刊(中国科技论文优秀期刊)
关键词：
- 有限元分析
- zno
- 微气体传感器
- 优化设计
- 温度分布
- 磁场分布
注：因版权方要求，不能公开全文，如需全文，请咨询杂志社
