摘要:采用溶胶-凝胶法在LaNiO3/Si(100)底电极上成功制备了厚度为1μm的Pb0.88La0.08(ZrxTi1–x)O3(PLZT, x=0.30,0.55,0.80)铁电厚膜。研究了不同Zr/Ti比对PLZT铁电厚膜的介电与储能性能的影响。结果表明,随着PLZT中Zr含量的增加,厚膜材料的储能密度与储能效率均增大,Pb 0.88 La 0.08(Zr 0.8 Ti 0.2)O 3厚膜在1400×103 V/cm的储能密度为23.8 J/cm3,储能效率为60%。
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