Parylene在毫米波MMIC电路防护上的应用研究

作者:仝晓刚 敖辽辉 石秀锟 成彦

摘要:为了验证Parylene N在毫米波电路防护上应用的可行性,对35GHz的薄膜滤波器和Ka频段的低噪声放大器进行了Parylene处理。测试结果表明,5μm的Parylene N膜层使薄膜滤波器中心频率下偏了约0.4%,10μm膜层使其中心频率下偏了约0.7%;5μm的Parylene N膜层使低噪放的噪声系数略有增大、增益略有降低。最后,对Parylene处理后的低噪放进行了湿热试验,高、低温贮存试验,发现其噪声系数曲线、增益曲线与试验前的走势一致性较好。因而,Parylene处理技术在毫米波电路防护上的应用是可行的。

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关键词:
  • parylene
  • n
  • 防护
  • mmic电路
  • 薄膜滤波器
  • 低噪声放大器
  • 噪声系数
  • 增益

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期刊名称:电子元件与材料

期刊级别:北大期刊

期刊人气:8155

杂志介绍:
主管单位:工业和信息化部
主办单位:中国电子学会;中国电子元件行业协会;国营第715厂
出版地方:四川
快捷分类:电子
国际刊号:1001-2028
国内刊号:51-1241/TN
邮发代号:62-36
创刊时间:1982
发行周期:月刊
期刊开本:A4
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