摘要：在不同衬底温度下用脉冲激光沉积法（PLD）分别在n-si（111）、蓝宝石（001）和非晶石英衬底上生长了ZnO薄膜。首先对薄膜进行了X射线衍射（XRD）分析，找出在三种不同衬底上制得的结晶质量最好的ZnO薄膜所对应的最佳衬底温度。然后对最佳衬底温度下得到的ZnO薄膜分别进行了X射线衍射（XRD）、光致发光谱（PL）和原子力显微镜（AFM）分析。结果表明，在硅衬底上生长的ZnO薄膜XRD谱半高宽最小，PL谱特征发光峰强度最强，AFM下的平均粒径最大，说明硅衬底上生长的ZnO薄膜结晶质量最好，而在石英衬底上生长的ZnO薄膜结晶质量最差。