微波电路用共面电极TaNx薄膜片式电阻器
作者：程超 赵海飞 冯毅龙 杨俊锋
摘要：采用反应溅射方法制作TaNχ电阻薄膜，并通过溅射Ni、Au形成双层共面电极。研究了溅射条件对电阻薄膜组分的影响以及此类电阻器的微波特性。结果显示，溅射工作真空度小于0．5Pa，氮气体积分数大于5％时，可以得到阻值稳定的六方晶体结构TaNχ电阻薄膜，其共面电极的电阻器使用频率上限大于20GHz。
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关键词：
- tanx
- 共面电极
- 薄膜片式电阻器
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