掺氟二氧化锡纳米粉的制备及电性能研究

作者:何云; 白凡飞; 贺平; 贾志杰; 谭铭

摘要:以SnCl2·2H2O、HF为原料,采用共沉淀法合成了掺氟二氧化锡FTO (SnO2:F)纳米粉.在氧化的过程中进行掺杂,使F原子更容易取代O原子,在400 ℃低温下蒸发得到了低电阻率的FTO纳米粉.应用SEM、XRD、EDS和压片测电阻等方法,对所获粉体进行了表征.结果表明,F的掺杂明显降低了SnO2的电阻率.当r (Sn:F)为10:3时,FTO纳米粉的电阻率最低,为57.2Ω/cm.

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关键词:
  • 半导体技术
  • 掺氟二氧化锡
  • 纳米粉
  • 低电阻率
  • 共沉淀法

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期刊名称:电子元件与材料

期刊级别:北大期刊

期刊人气:8217

杂志介绍:
主管单位:工业和信息化部
主办单位:中国电子学会;中国电子元件行业协会;国营第715厂
出版地方:四川
快捷分类:电子
国际刊号:1001-2028
国内刊号:51-1241/TN
邮发代号:62-36
创刊时间:1982
发行周期:月刊
期刊开本:A4
下单时间:1-3个月
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综合影响因子:0.68