薄膜声体波谐振器(FBAR)的研究进展

作者:王德苗; 金浩; 董树荣

摘要:综述了国内外FBAR技术的研究现状和进展.分析了基于空气腔和布拉格反射层两种主流FBAR的结构、工作原理和建模方法.阐述了适用于FBAR的压电薄膜材料、电极材料以及布拉格反射层材料的选择.并介绍了作为FBAR主要应用的射频滤波器和双工器的拓扑结构和设计方法,以及制备FBAR器件时需克服的关键技术等问题.

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关键词:
  • 电子技术
  • 薄膜声体波谐振器
  • 综述
  • 压电薄膜
  • 声体波
  • 射频微机械
  • 滤波器

注:因版权方要求,不能公开全文,如需全文,请咨询杂志社

期刊名称:电子元件与材料

期刊级别:北大期刊

期刊人气:8153

杂志介绍:
主管单位:工业和信息化部
主办单位:中国电子学会;中国电子元件行业协会;国营第715厂
出版地方:四川
快捷分类:电子
国际刊号:1001-2028
国内刊号:51-1241/TN
邮发代号:62-36
创刊时间:1982
发行周期:月刊
期刊开本:A4
下单时间:1-3个月
复合影响因子:0.43
综合影响因子:0.68