薄膜厚度对钛酸钡类薄膜传感器敏感特性的影响
作者：李斌; 李观启; 黄美浅; 刘玉荣; 陈平
摘要：利用氩离子束溅射技术,分别在SiO2/Si衬底上淀积了0.5 μm、1μm和2μm的Ba1-xLaxNbyTi1-yO3薄膜,并探讨了薄膜厚度对MIS电容湿敏特性的影响以及薄膜厚度对薄膜电阻的光敏和热敏特性的影响.实验结果表明:0.5μm膜厚的MIS电容传感器具有比2μm膜厚的MIS电容传感器高9倍的湿敏灵敏度.用孔隙率和孔径分布物理模型分析得出,薄膜越薄,膜的孔隙率越高,器件的湿敏灵敏度越高.反之,薄膜越厚,光吸收越强,薄膜电阻的光敏灵敏度越高;但薄膜厚度对薄膜电阻热敏特性的影响甚微,敏感机理与薄膜的微观结构可解释这些现象.
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关键词：
- 电子技术
- 钛酸钡薄膜
- 湿敏
- 光敏
- 热敏
- 薄膜厚度
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