Ga-Ti共掺杂ZnO透明导电薄膜的微观结构和光电性能研究

作者:钟志有 龙路 陆轴 龙浩

摘要:采用磁控溅射方法在玻璃基片上制备了Ga-Ti共掺杂ZnO(GTZO)透明导电薄膜,通过XRD、四探针仪和分光光度计测试,研究了氩气压强对GTZO薄膜光电性能和晶体结构的影响。结果表明:所有GTZO薄膜均为(002)择优取向的六角纤锌矿结构,其光电性能和晶体结构与氩气压强密切相关。当氩气压强为0.4Pa时,GTZO薄膜具有最大的晶粒尺寸(85.7nm)、最小的压应力(-0.231GPa)、最高的可见光区平均透射率(86.1%)、最低的电阻率(1.56×10-3Ω·cm)和最大的品质因子(4.28×105Ω-1·cm-1),其光电综合性能最佳。另外,采用光学表征方法计算了薄膜的光学能隙和折射率,并利用有效单振子理论对折射率的色散性质进行了分析,获得了GTZO薄膜的色散参数。

分类:
  • 期刊
  • >
  • 自然科学与工程技术
  • >
  • 工程科技I
  • >
  • 材料科学
收录:
  • 维普收录(中)
  • 上海图书馆馆藏
  • 国家图书馆馆藏
  • JST 日本科学技术振兴机构数据库(日)
  • 知网收录(中)
  • EI 工程索引(美)
  • 万方收录(中)
  • CA 化学文摘(美)
  • 北大期刊(中国人文社会科学期刊)
  • CSCD 中国科学引文数据库来源期刊(含扩展版)
  • 统计源期刊(中国科技论文优秀期刊)
关键词:
  • 透明导电薄膜
  • 掺杂zno
  • 磁控溅射
  • 光电性能

注:因版权方要求,不能公开全文,如需全文,请咨询杂志社

期刊名称:材料导报

期刊级别:北大期刊

期刊人气:16880

杂志介绍:
主管单位:重庆西南信息有限公司(原科学技术部西南信息中心)
主办单位:重庆西南信息有限公司(原科学技术部西南信息中心)
出版地方:重庆
快捷分类:工业
国际刊号:1005-023X
国内刊号:50-1078/TB
邮发代号:78-93
创刊时间:1987
发行周期:半月刊
期刊开本:A4
下单时间:1-3个月
复合影响因子:0.91
综合影响因子:1.26