化学溶液沉积法制备Nd和Sc/Al/(Sc,Al)共掺杂钛酸铋铁电薄膜的电性能研究

作者:胡增顺 杨桦 晋玉星

摘要:利用化学溶液沉积法在Pt/Ti/SiO2/Si(100)基底和700℃条件下分别制备了Nd和Sc/Al/(Sc,Al)共掺杂的钛酸铋薄膜Bi3.15Nd085Ti2.94Sc0.06O12(BNTSc)、Bi3.15Nd0.85Ti294Al0.06O12(BNTAl)和Bi3.15Nd0.85Ti2.94(Sc0.03,Al0.03)O,2(BNT(Sc,Al)),并研究和对比了这一系列薄膜的微结构、介电、铁电和漏电流等特性。结果发现BNT(Sc,Al)薄膜具有较高的剩余极化强度和介电常数,其漏电流密度低于BNTAl薄膜。另外,还讨论了相关的物理机制。

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关键词:
  • 铁电薄膜
  • 共掺杂

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期刊名称:材料导报

期刊级别:北大期刊

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杂志介绍:
主管单位:重庆西南信息有限公司(原科学技术部西南信息中心)
主办单位:重庆西南信息有限公司(原科学技术部西南信息中心)
出版地方:重庆
快捷分类:工业
国际刊号:1005-023X
国内刊号:50-1078/TB
邮发代号:78-93
创刊时间:1987
发行周期:半月刊
期刊开本:A4
下单时间:1-3个月
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