摘要:利用化学溶液沉积法在Pt/Ti/SiO2/Si(100)基底和700℃条件下分别制备了Nd和Sc/Al/(Sc,Al)共掺杂的钛酸铋薄膜Bi3.15Nd085Ti2.94Sc0.06O12(BNTSc)、Bi3.15Nd0.85Ti294Al0.06O12(BNTAl)和Bi3.15Nd0.85Ti2.94(Sc0.03,Al0.03)O,2(BNT(Sc,Al)),并研究和对比了这一系列薄膜的微结构、介电、铁电和漏电流等特性。结果发现BNT(Sc,Al)薄膜具有较高的剩余极化强度和介电常数,其漏电流密度低于BNTAl薄膜。另外,还讨论了相关的物理机制。
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