Cr掺杂ZnO薄膜晶体结构及光学性能的研究
作者：付长凤 韩连福 刘超 陈希明
摘要：采用磁控溅射法在载玻片上制备了不同Cr掺杂浓度的ZnO薄膜，并对其紫外发光性能做了初步研究。XRD结果表明，所制备的样品具有纤锌矿结构，呈C轴择优取向生长；透射谱表明，改变Cr掺杂浓度可以使ZnO薄膜的吸收边向短波方向移动，并且薄膜的禁带宽度连续可调；光致发光（PL）谱表明，所有样品的PL谱由发光中心位于370nm的紫外发光峰组成，且该峰的峰位蓝移，与吸收边缘移动的结果吻合。2．0％（原子分数，下同）的Cr掺杂可以提高ZnO的紫外发光强度，而过量的Cr掺杂反而会降低其紫外发光强度。
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关键词：
- cr掺杂
- zno薄膜
- 蓝移
- 磁控溅射法
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