正交相Y2Mo3O12薄膜的制备及光吸收性能研究
作者：程慧 晁明举 梁二军 姜雅丽 刘志锋
摘要：采用磁控溅射法在Si（100）和石英衬底上沉积Y2Mo3O12，并经退火处理获得正交相Y2Mo3O12薄膜。采用扫描电镜、X射线衍射仪、变温拉曼光谱仪和紫外一可见光谱计研究了薄膜的表面形貌、结晶特性、吸湿性和光吸收性能。结果表明，磁控溅射沉积Y2MO3O12薄膜为非晶态，退火后结晶为正交相结构。正交相Y2Mo3O12薄膜表面平整、晶粒细小，具有可逆的脱水吸水性能，其光学带隙宽度为4．58eV，对近紫外光（波长286～270nm）具有很好的吸收性能，可应用于日盲探测器中。
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关键词：
- 磁控溅射
- y2mo3o12薄膜
- 拉曼光谱
- 光吸收性能
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